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2021超星尔雅学习通多晶硅制备工艺网课答案

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【简答题】1、描述精馏塔的组成。(3分)2、精馏塔中塔板上是如何进行传质与传热的?(3分)3、精馏塔中有哪几种回流,回流的作用是什么?(4分)

答案:

【简答题】三氯氢硅还原时,影响SiHCl3转化率的因素有哪些?都是如何影响的?

1. 温度尽可能高,但不能太高,控制在1080-1100摄氏度℃2. 转化率随着H2摩尔比的增大而提高;3. SiHCl3的流量较小,SiHCl3在炉内的停留时间较长,SiHCl3转化率相对较大4. 延长沉积时间,随着硅棒直径的增大,硅沉积表面积增大,有利于提高转化率5. 降低系统压力,能提高SiHCl3转化率

答案:1. 温度尽可能高,但不能太高,控制在1080-1100摄氏度℃2. 转化率随着H2摩尔比的增大而提高;3. SiHCl3的流量较小,SiHCl3在炉内的停留时间较长,SiHCl3转化率相对较大4. 延长沉积时间,随着硅棒直径的增大,硅沉积表面积增大,有利于提高转化率5. 降低系统压力,能提高SiHCl3转化率

【简答题】某还原炉的产量为270kg,硅芯总重3.4kg,硅芯长度30m,反应时间176h,消耗SiHCl35000L,求沉积速度?沉积速率?实收率?(SiHCl3的密度1.32kg/L)

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